粒子計(jì)數(shù)器結(jié)構(gòu)分析

　　hbzhan內(nèi)容導(dǎo)讀：粒子計(jì)數(shù)器（ParticleCounter）是氣體工業(yè)名詞術(shù)語。通常分為激光顆粒計(jì)數(shù)器或凝聚核粒子計(jì)數(shù)器。He2Ne激光粒子計(jì)數(shù)器，可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質(zhì)；
　　
　　儀器的組成及相互關(guān)系如圖2所示。


　　
　　1光源
　　
　　光源是塵埃粒子計(jì)數(shù)器的關(guān)鍵部件，對(duì)儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長(zhǎng)、不受干擾。
　　
　　光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開機(jī)后需要預(yù)熱。激光光源為激光器，體積小、穩(wěn)定性高、壽命長(zhǎng)，常與檢測(cè)腔及光檢測(cè)器做成一體，組成傳感器。
　　
　　常見的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。采用普通光源的塵埃粒子計(jì)數(shù)器對(duì)0.3[cm以下的微粒信號(hào)響應(yīng)很低，其信號(hào)幅度與計(jì)數(shù)器本身的噪聲幅度相差無幾，信號(hào)很難從噪聲中檢測(cè)出來。此類儀器雖然標(biāo)有0.3Km這一通道，但只適于測(cè)定大于0.3pm特別是0.5[Lm以上的微粒。
　　
　　由于激光的單色性好，光能量集中穩(wěn)定，所以采用激光光源的塵埃粒子計(jì)數(shù)器其傳感器有較高的信噪比，此類儀器有些能檢測(cè)到0.l[CM的微粒。
　　
　　2測(cè)且
　　
　　腔測(cè)量腔是進(jìn)行微粒觀測(cè)的空間，被采集的空氣要從測(cè)量腔內(nèi)穿過。儀器的光學(xué)系統(tǒng)使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測(cè)量腔中，形成一個(gè)體積約幾個(gè)立方毫米的光敏感區(qū)。當(dāng)空氣中的塵埃通過光敏感區(qū)時(shí)，會(huì)散射出一部分光能量，被與人射光成一角度（900或700）的集光透鏡收集，再投射到光檢測(cè)器上。
　　
　　3光檢測(cè)器
　　
　　光檢測(cè)器是將散射光能量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的光電轉(zhuǎn)換器件。塵埃粒子計(jì)數(shù)器中zui常用的光檢測(cè)器是光電倍增管和光電二極管。
　　
　　光電倍增管把光電子放大幾萬倍后轉(zhuǎn)換成幾個(gè)毫伏到幾十毫伏的電信號(hào)，光譜具有線性好、響應(yīng)時(shí)間快、暗電流小的優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是體積大。光電倍增管工作時(shí)需加上幾百伏特的負(fù)高壓，儀器中有相應(yīng)的高壓產(chǎn)生電路，在對(duì)儀器進(jìn)行調(diào)試或校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)注意安全。
　　
　　光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導(dǎo)體元件，具有體積小、外圍電路簡(jiǎn)單的特點(diǎn)，常與檢測(cè)腔做成一體。